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otsukael積分光度計

otsukael積分光度計除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過實現(xiàn)自動可變測量角度機構來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉分析器方法外，還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構提高了測量精度。

  • 產(chǎn)品型號：SLS-6500HL
  • 廠商性質：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2025-06-26
  • 訪  問  量：3771
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　　otsukael靜態(tài)光散射光度計 積分光度計SLS-6500HL的介紹
 
　　除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過實現(xiàn)自動可變測量角度機構來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉分析器方法外，還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構提高了測量精度。
 
　　特征：
 
　　可在紫外-可見(300 至 800 nm)波長范圍內(nèi)測量橢圓參數(shù)
 
　　能夠分析納米級多層薄膜的膜厚
 
　　通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜
 
　　支持通過可變反射角測量對薄膜進行詳細分析
 
　　通過創(chuàng)建光學常數(shù)數(shù)據(jù)庫和添加配方注冊功能提高可操作性
 
　　測量項目
 
　　橢圓參數(shù)(tanψ，cosΔ)測量
 
　　光學常數(shù)(n：折射率，k：消光系數(shù))分析
 
　　膜厚分析
 
　　測量對象
 
　　半導體ウェーハ
 
　　ゲート酸化薄膜，窒化膜
 
　　SiO2，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al2O3，SiNxOy，poly-Si，ZnSe， BPSG，TiN
 
　　レジストの光學定數(shù)(波長分散)
 
　　化合物半導體
 
　　AlxGa(1-x)As 多層膜，アモルファスシリコン
 
　　FPD
 
　　配向膜
 
　　各種新素材
 
　　DLC(Diamond Like Carbon)，超伝導用薄膜，磁気ヘッド薄膜
 
　　光學薄膜
 
　　TiO2，SiO2，反射防止膜
 
　　リソグラフィー分野
 
　　g線(436nm)，h線(405nm)，i線(365nm)などの各波長におけるn，k評価
 
 
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